Дифрактрометр X’Pert³ MRD

Універсальний дифрактометр XRD для досліджень і розробок

Довга і успішна історія дифрактометрів для дослідження матеріалів (MRD) Malvern Panalytical продовжується новим поколінням - X'Pert³ MRD і X'Pert³ MRD XL. Покращена продуктивність і надійність нової платформи додали більше аналітичних можливостей і потужності для досліджень розсіювання рентгенівських променів в..:

• сучасному матеріалознавстві
• наукова та промислова технологія тонких плівок
• метрологічні характеристики в розробці напівпровідникових процесів

Обидві системи мають однаковий широкий спектр застосувань з повним картуванням пластин до 100 мм (X'Pert³ MRD) або 200 мм (X'Pert³ MRD XL).

Гнучкість системи, орієнтована на майбутнє

Дифрактометри X'Pert³ MRD пропонують передові та інноваційні рішення для рентгенівської дифракції від досліджень до розробки процесів і управління ними. Технології, що використовуються, дозволяють легко модернізувати всі системи до всіх існуючих опцій і нових розробок в області апаратного і програмного забезпечення в майбутньому.

X'Pert³ MRD

Стандартна версія для досліджень і розробок для роботи з тонкоплівковими зразками, підкладками (повне мапування до 100 мм) і твердими матеріалами. Можливість аналізу з високою роздільною здатністю покращується завдяки видатній точності нового гоніометра з високою роздільною здатністю, що використовує енкодери Heidenhain.X'Pert³ MRD

Стандартна версія для досліджень і розробок для роботи з тонкоплівковими зразками, підкладками (повне мапування до 100 мм) і твердими матеріалами. Можливість аналізу з високою роздільною здатністю покращується завдяки видатній точності нового гоніометра з високою роздільною здатністю, що використовує енкодери Heidenhain.

X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL відповідає всім вимогам до рентгеноструктурного аналізу з високою роздільною здатністю в галузі напівпровідників, тонких плівок і новітніх матеріалів. Можливе повне картування підкладок до 200 мм. Версія X'Pert3 має найдовший час підйому компонентів падаючого променя (CRISP) і максимальний час безвідмовної роботи завдяки пневматичним затворам і атенюаторам променя.

Полегшуючи аналіз підкладок діаметром до 300 мм, завдяки складному автоматичному завантажувачу підкладок, X'Pert³ MRD XL стає передовим інструментом для контролю якості промислових тонкошарових структур.

X'Pert³ Extended MRD (XL)

X'Pert³ Extended MRD (XL) підвищує універсальність лінійки систем X'Pert³ MRD. Додаткова монтажна платформа PreFIX дозволяє встановлювати рентгенівське дзеркало і монохроматор з високою роздільною здатністю в лінію, значно збільшуючи інтенсивність падаючого променя.

Завдяки концепції PreFIX можна отримати вигоду від підвищеної універсальності застосування без шкоди для якості даних, рентгенівської дифракції високої роздільної здатності з високою інтенсивністю, скорочення часу вимірювання для таких вимірювань, як взаємне картографування простору, а також перебудовуватися зі стандартної на розширену конфігурацію за лічені хвилини. З PreFIX 2-го покоління реконфігурація є простою, а позиціонування оптики є більш точним, ніж будь-коли.

X'Pert³ MRD (XL) In-plane

Система X'Pert³ MRD (XL) для плоскої дифракції дозволяє вимірювати дифракцію від площин кристалічної решітки, які перпендикулярні до поверхні зразка.

Геометрія стандартної і плоскої дифракції в одній системі і широкий спектр дифракційних експериментів на полікристалічних і дуже досконалих тонких плівках - це лише дві з багатьох переваг.

Розкрийте потенціал ваших даних

До цього часу дані приладів занадто часто застрягали в ручних записах, електронних таблицях або на локальних серверах. Підключивши X'Pert3 MRD до Smart Manager і постійно аналізуючи дані приладу в хмарі, ви зможете повністю розкрити його потенціал. Це лише одне з наших цифрових рішень, які є частиною Smart Manager від Malvern Panalytical.

Детектор PIXcel3D

Перший детектор для отримання 0D-1D-2D і 3D-даних у Вашому дифрактометрі

PIXcel3D - це унікальний 2D твердотільний гібридний піксельний детектор. Кожен піксель має розмір 55 мікрон x 55 мікрон, а матриця детектора - 256 x 256 пікселів. Детектор, який тепер базується на технології Medipix3, забезпечує неперевершене співвідношення сигнал/шум завдяки функції точкового розподілу в один піксель і декільком рівням енергетичної дискримінації.

Технологія Medipix3 забезпечує

• Збільшення діапазону енергій виявлення від Cr до Cu
• Покращену енергетичну роздільну здатність
• Збільшення діапазону лінійності
• Покращена ефективність виявлення
• Задокументовані (опубліковані) дослідження радіаційної твердості.

Технічна храктеристика