Дифрактрометр X’Pert³ MRD

Длинная и успешная история дифрактометров для исследования материалов (MRD) Malvern Panalytical продолжается новым поколением - X'Pert³ MRD и X'Pert³ MRD XL. Улучшенная производительность и надежность новой платформы добавили больше аналитических возможностей и мощности для исследований рассеивания рентгеновских лучей:

• современном материаловедении
• научная и промышленная технология тонких пленок
• метрологические характеристики в разработке полупроводниковых процессов

Обе системы имеют одинаковый широкий спектр применений с полным картированием пластин до 100 мм (X'Pert³ MRD) или 200 мм (X'Pert³ MRD XL).

Гибкость системы, ориентированная на будущее

Дифрактометры X'Pert³ MRD предлагают передовые и инновационные решения для рентгеновской дифракции от исследований до разработки процессов и управления ими. Используемые технологии позволяют легко модернизировать все системы ко всем существующим опциям и новым разработкам в области аппаратного и программного обеспечения в будущем.

X'Pert³ MRD

Стандартная версия для исследований и разработок для работы с тонкопленочными образцами, подложками (полное картирование до 100 мм) и твердыми материалами. Возможность анализа с высоким разрешением улучшается благодаря выдающейся точности нового гониометра высокого разрешения, использующего энкодеры Heidenhain.X'Pert³ MRD

Стандартная версия для исследований и разработок для работы с тонкопленочными образцами, подложками (полное картирование до 100 мм) и твердыми материалами. Возможность анализа с высоким разрешением улучшается благодаря выдающейся точности нового гониометра высокого разрешения, использующего энкодеры Heidenhain.

X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL отвечает всем требованиям к рентгеноструктурному анализу с высоким разрешением в области полупроводников, тонких пленок и новейших материалов. Возможно полное картирование подложек до 200 мм. Версия X'Pert3 имеет самое длинное время подъема компонентов падающего луча (CRISP) и максимальное время безотказной работы благодаря пневматическим затворам и аттенюаторам луча.

Облегчая анализ подложек диаметром до 300 мм, благодаря сложному автоматическому загрузчику подложек, X'Pert³ MRD XL становится передовым инструментом для контроля качества промышленных тонкослойных структур.

X'Pert³ Extended MRD (XL)

X'Pert³ Extended MRD (XL) повышает универсальность линейки систем X'Pert³ MRD. Дополнительная монтажная платформа PreFIX позволяет устанавливать рентгеновское зеркало и монохроматор высокого разрешения в линию, значительно увеличивая интенсивность падающего луча.

Благодаря концепции PreFIX можно получить выгоду от повышенной универсальности применения без ущерба для качества данных, рентгеновской дифракции высокого разрешения с высокой интенсивностью, сокращения времени измерения для таких измерений, как взаимное картографирование пространства, а также перестраиваться со стандартной на расширенную конфигурацию за считанные минуты. С PreFIX 2-го поколения реконфигурация является простой, а позиционирование оптики является более точным, чем когда-либо.

X'Pert³ MRD (XL) In-plane

Система X'Pert³ MRD (XL) для плоской дифракции позволяет измерять дифракцию от плоскостей кристаллической решетки, которые перпендикулярны к поверхности образца.

Геометрия стандартной и плоской дифракции в одной системе и широкий спектр дифракционных экспериментов на поликристаллических и очень совершенных тонких пленках - это лишь два из многих преимуществ.

Раскройте потенциал ваших данных

До сих пор данные приборов слишком часто застревали в ручных записях, электронных таблицах или на локальных серверах. Подключив X'Pert3 MRD к Smart Manager и постоянно анализируя данные прибора в облаке, вы сможете полностью раскрыть его потенциал. Это лишь одно из наших цифровых решений, которые являются частью Smart Manager от Malvern Panalytical.

Детектор PIXcel3D

Первый детектор для получения 0D-1D-2D и 3D-данных в Вашем дифрактометре

PIXcel3D - это уникальный 2D твердотельный гибридный пиксельный детектор. Каждый пиксель имеет размер 55 микрон x 55 микрон, а матрица детектора - 256 x 256 пикселей. Детектор, который теперь базируется на технологии Medipix3, обеспечивает непревзойденное соотношение сигнал/шум благодаря функции точечного распределения в один пиксель и нескольким уровням энергетической дискриминации.

Технология Medipix3 обеспечивает

• Увеличение диапазона энергий обнаружения от Cr до Cu
• Улучшенное энергетическое разрешение
• Увеличение диапазона линейности
• Улучшенная эффективность обнаружения
• Задокументированные (опубликованные) исследования радиационной твердости

Техническая характеристика