Рентгенівський спектрометр 2830 ZT для аналізу тонких напівпровідникових плівок

Можливості безперебійної роботи і швидкість

В рентгенівській трубці SST-mAX потужністю 4 кВт застосована передова технологія ZETA, що виключає ефект старіння рентгенівських трубок. Інтенсивність випромінювання трубки на всьому протязі терміну її служби залишається незмінною, а в поєднанні з високою чутливістю технологія ZETA гарантує підтримання високої швидкості аналізу і стабільність вимірювань протягом усього періоду експлуатації трубки. Технологія ZETA різко скорочує потребу в корекції дрейфу та повторного калібрування, тим самим підвищуючи продуктивність і час безперебійної роботи приладу.

Максимальний час безперервної роботи

У традиційних рентгенівських трубках відбувається випаровування вольфраму, в результаті чого виникають відкладення на внутрішній стороні берилієвого вікна трубки. У приладах, які використовують такі рентгенівські трубки, потрібна регулярна корекція дрейфу. Її мета – компенсувати зниження інтенсивності, особливо для легких елементів.

Використання трубки SST-mAX в 2830 ZT вирішує цю проблему дрейфу, завдяки чому максимально збільшується час безперебійної роботи та зберігається незмінною точність приладу.

Простота використання

Прилад 2830 ZT оснащений вдосконаленим ЗА SuperQ. До його складу входить FP Multi – програмний пакет, призначений спеціально для виконання аналізу багатошарових об'єктів. Інтерфейс програмного забезпечення дозволяє навіть недосвідченим операторам виконувати повністю автоматизований аналіз основних параметрів багатошарових зразків.
Програмне забезпечення SuperQ має широкий набір простих у використанні модулів для зручної роботи дослідників та інженерів. Перехід з однієї прикладної програми на іншу не представляє праці і параметри обладнання також можна настроювати з урахуванням уподобань користувача.

FALMO-2G

FALMO-2G легко інтегрується в інфраструктуру будь-якої лабораторії або виробництва: від простого завантаження в ручному режимі до повної автоматизації. Виключно гнучка конструкція дозволяє керівнику виробництва вибирати завантажувальний порт FOUP, SMIF або порт для відкритих касет, при цьому можливі конфігурації з одним або двома завантажувальними портами. Програмне забезпечення, яке відповідає вимогам GEM300, підтримує різні конфігурації FALMO-2G. Горизонтальні розміри FALMO-2G мінімізовані, але без шкоди для гнучкості та функціональності.