Рентгеновский спектрометр 2830 ZT для анализа тонких полупроводниковых плёнок

Возможности бесперебойной работы и скорость

В рентгеновской трубке SST-mAX мощностью 4 кВт применена передовая технология ZETA, исключающая эффект старения рентгеновских трубок. Интенсивность излучения трубки на всем протяжении срока ее службы остаётся неизменной, а в сочетании с высокой чувствительностью технология ZETA гарантирует поддержание высокой скорости анализа и стабильность измерений в течение всего периода эксплуатации трубки. Технология ZETA резко сокращает потребность в коррекции дрейфа и повторной калибровке, тем самым повышая производительность и время бесперебойной работы прибора.

Максимальное время бесперебойной работы

В традиционных рентгеновских трубках происходит испарение вольфрама, в результате чего возникают отложения на внутренней стороне бериллиевого окна трубки. В приборах, использующих такие рентгеновские трубки, требуется регулярная коррекция дрейфа. Ее цель – компенсировать снижение интенсивности, в особенности для легких элементов. 

Использование трубки SST-mAX в 2830 ZT решает эту проблему дрейфа, благодаря чему максимально увеличивается время бесперебойной работы и сохраняется неизменной точность прибора.

Простота использования

Прибор 2830 ZT оснащен усовершенствованным ПО SuperQ. В его состав входит FP Multi – программный пакет, предназначенный специально для выполнения анализа многослойных объектов. Пользовательский интерфейс программного обеспечения позволяет даже неопытным операторам выполнять полностью автоматизированный анализ основных параметров многослойных образцов.
Программное обеспечение SuperQ имеет широкий набор простых в использовании модулей для удобной работы исследователей и инженеров. Переход с одной прикладной программы на другую не представляет труда и параметры оборудования также можно настраивать с учетом предпочтений пользователя.

FALMO-2G

FALMO-2G легко интегрируется в инфраструктуру любой лаборатории или производства: от простой загрузки в ручном режиме до полной автоматизации. Исключительно гибкая конструкция позволяет руководителю производства выбирать загрузочный порт FOUP, SMIF или порт для открытых кассет, при этом возможны конфигурации с одним или двумя загрузочными портами. Программное обеспечение, отвечающее требованиям GEM300, поддерживает различные конфигурации FALMO-2G. Горизонтальные размеры FALMO-2G минимизированы, но без ущерба для гибкости и функциональности.